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詳細介紹
產品描述
線性壓電納米位移臺MF40-25A，緊湊結構支撐下的超大行程，軟件簡單易用，亞納米級別開環分變率，真空兼容可達10-5Pa。支持定制納米位移臺。
不同于傳統的微米級別行程，納米位移臺擁有超大運動行程。大運動行程可以替代傳統的大范圍運動加不范圍補償的運動方案，從而使設計 結構更加緊湊，運動控制更加簡單。
納米位移臺配套操作簡單，隨時調整XY軸觀測位置，電子屏顯示，實時反饋數據，數據定位準確，且帶有高精度及高分變率的位置反饋。
△ 結構緊湊，高剛性
△ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統
△ 室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容
△ 壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命
△ 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環控制
電子顯微鏡原位納米探針臺，半導體芯片檢測，光刻機工件臺，微生物操縱手，光纖焊接，超精密組裝，精密檢測與測量。
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